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在晶圆上实现可靠的 OCR 和代码读取

反光的晶圆表面、微小的蚀刻字符和严格的洁净室条件使半导体生产中的晶圆可追溯性应用复杂化。康耐视解决方案采用先进的光学字符识别 (OCR)、二维解码和自适应照明技术,可提供高读取率和可靠的 ID 跟踪,确保在整个复杂、高度敏感的制造和包装过程中实现全面可追溯性。

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在整个生产流程中实现可靠且准确的晶圆可追溯性

全球半导体行业保持高速度和高精度运转,并且对错误零容忍。晶圆是用于制造集成电路的纤薄圆形硅片 ,尺寸微小但性能卓越。从前端制造直至晶圆切割,制造商需要全程准确跟踪。随着更高的工具使用率、严格控制和更高的生产成品率需求不断增长,制造商需要可靠的晶圆可追溯性系统,以维持盈利能力和产品质量。

为了跟上高速度,先进的机器视觉可优化流程,以确保快速、准确读取代码,从而实现准确的晶圆可追溯性。

先进的读码器解决棘手的晶圆识别挑战

制造商在晶圆的微小硅盘区域标记激光蚀刻代码(字母数字字符或 DataMatrix 符号),确保在多个加工阶段识别晶圆,直到晶圆进入切割工序。可靠读取这些微小的代码面临巨大的挑战。

标识质量退化、反光表面、微小的蚀刻字符和洁净室限制导致传统系统难以实现一致的晶圆 ID 成像,影响工具对位、质量控制和整体生产效率。 

先进的读码系统提供制造商所需的精度和可靠性,一致读取晶圆 ID,以确保准确处理、快速排除故障和端到端可追溯性。

半导体载体 OCR 特写镜头 4

读取损坏或有划痕的代码。


半导体载体 OCR 特写镜头 2

优化反光表面对比度。


在晶圆 ID 准确性方面处于领先地位

康耐视 In-Sight 读码器经过专门设计,适用于高速、高精度半导体制造环境,在晶圆进入切割工序之前,实现 100% 的晶圆可追溯性,快速、可靠读取几乎任何 ID 标识,包括字母数字代码和 DataMatrix 二维码。

这些体积小巧且适应洁净室环境的系统将 OCR 功能、先进算法、功能强大的光学元件和灵活的光源相结合,以简化和提升晶圆识别:

  • 高分辨率成像技术可采集反光晶圆表面上的微小字符
  • 内置照明控制(明视场和暗视场)可优化低对比度或质量退化标识的对比度
  • 非接触式操作可防止易损伤的晶圆表面遭受损坏
  • 自动标识调整可适应因遮挡、蚀刻或光刻而造成的变化,减少无法读取、显著减少人工干预并延长正常运行时间

此外,康耐视还提供灵活的现场、在线和按需支持选项和全球视觉专家支持网络。

半导体解决方案指南 | 英语

下载《半导体解决方案指南》

通过精确的对准、缺陷检测和端到端可追溯性,促进半导体制造。   

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