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探针标识检测和分类

在半导体制造应用中,探针标识的准确分类对于确保测试完整性、延长探针工具寿使用命和维持产品质量至关重要。康耐视机器视觉实时检测细微缺陷,帮助制造商实现一致、可靠的晶圆测试。 

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保持半导体探针标识完整性

在半导体制造中,在晶圆被送到晶粒制备流程之前,制造商使用配备许多微型电探针的探针卡测试每个集成电路(IC)的电气连续性和功能缺陷。这些探针与晶圆接触,在晶粒上留下微小标识,表明成功发生接触。虽然探针标识的存在确认接触成功,但制造商需要进行更多分析,以确保压力和对位正确。 

探针标识必须清晰可见、居中且一致,以验证测试准确性。探针非常纤细且成本高昂;随着时间的推移,过大的压力可能导致探针损坏并降低其性能,这使探针标识检测成为晶圆测试的关键步骤。 

对于制造商而言,保持探针标识的准确性至关重要,不仅确保测试完整性,还能延长成本昂贵的探针工具的使用寿命。康耐视 AI 驱动的先进解决方案精确分析探针标识,确保只有有效的标识通过检测。这可以保护产品质量并提高运营效率。 

Examples of good and bad probe marks

合格和不合格探测标识示例。


简化晶圆测试复杂性

探针标识测试的复杂性给传统检测系统带来挑战。微小尺寸、细微对比度及形状和放置位置变化导致基于规则的视觉系统难以检测探针标识。如果探针标识受到对位不准、过大压力、工具磨损或双重撞击的影响,可能导致分类错误、测试结果错误和潜在的设备损坏。

同时,制造商必须检测 IC 是否存在外观成型缺陷,例如划痕、空隙、溢料或其他可能影响芯片长期可靠性的表面缺陷。这些缺陷通常对比度较低或者非常细微,导致人工检测方式或传统工具容易遗漏。

康耐视高分辨率视觉工具分类软件专为高速、微小元件检测环境而设计,提供高放大倍率和准确的检测结果。 

半导体解决方案指南 | 英语

下载《半导体解决方案指南》

通过精确的对准、缺陷检测和端到端可追溯性,促进半导体制造。   

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使用 AI 驱动的机器视觉系统提高探针标识检测精度和晶圆成品率

康耐视 AI 驱动的 In-Sight 视觉系统 使制造商能够有效区分可接受标识与真正的缺陷,并确定根本原因,如压力不一致和错误对位,从而简化和加快探针标识检测。

康耐视软件基于多样性图像数据集进行训练,使用深度学习技术以高度的准确性分类探针标识。它能够可靠区分公差范围内的轻微异常与需要注意的关键问题,确保结果一致且可靠。

凭借先进的高分辨率成像,康耐视视觉系统准确检测具有挑战性的缺陷,包括低对比度、微小的探针标识和模制表面上的细微外观缺陷。实时分类使生产团队能够快速发现问题区域并立即进行调整,减少错误剔除,显著减少返工,提高模具成品率和整体设备可靠性。

在康耐视全球专家网络和按需自助服务资源的支持下,您可以获取所需的工具和帮助,实现准确、可靠的半导体测试,确保只有高质量的芯片才能进入后续制造流程。