In-Sight3900シリーズ
In-Sight 3900は、高スループットの生産ライン向けに設計された高速AIマシンビジョンシステムであり、高性能コンピューティングと組み込みAIにより、高解像度画像や高度な検査に対応します。
生産全体における信頼性が高く精密なウェーハのトレーサビリティ
世界の半導体業界では、スピードと精密さ、そしてエラーゼロが求められます。ウェーハ（集積回路を製造するために使用される薄く円形のシリコン基板）は小型ですが、高い性能が凝縮されています。そのため、前工程での製造段階からダイシングされるまで、正確な追跡が必要となります。ツール稼働率の向上、厳格な管理、そしてより高い生産歩留まりへの需要が高まる中、製造業者が収益性と製品品質を維持するためには、信頼性の高いウェーハトレーサビリティシステムが不可欠です。
ペースを保つために、高度なマシンビジョンは、コードが迅速かつ正確に読み取られるようにプロセスを最適化し、正確なウェーハトレーサビリティを可能にします。
最も困難なウェーハ識別の課題も解決する高度なバーコードスキャナ
ウェーハには、英数字またはデータマトリックス記号のレーザーエッチングされたIDコードが、シリコンディスクの小さな領域にマーキングされており、ダイシングされるまでの複数の工程を通じて個体識別が可能です。しかし、これらの小さなコードを確実に読み取ることは非常に困難です。
劣化したマーク、反射面、小さなエッチング文字、クリーンルームなどの制約により、従来のシステムでは一貫したウェーハIDの画像処理が困難で、ツールのアライメント、品質管理、全体的な生産効率が損なわれます。
高度なバーコードスキャンは、メーカーが必要とする精度と信頼性を提供し、正確な処理、迅速なトラブルシューティング、エンドツーエンドのトレーサビリティを確保するために、ウェーハIDを一貫してデコードします。
破損または傷のあるIDも読み取ります。
反射面のコントラストを最適化します。
ウェーハIDの精度を先導
高速で精密な半導体環境向けに設計されたコグネックスIn-Sightリーダは、100%のウェーハトレーサビリティを実現し、ダイシング前に英数字や二次元データマトリックスコードを含むほぼすべてのIDマークを迅速かつ確実にデコードします。
コンパクトかつクリーンルーム対応のこれらのシステムは、OCR、高度なアルゴリズム、堅牢な光学性能、柔軟な照明を統合し、ウェーハIDの識別を容易かつ強固にします。
- 高解像度の画像処理により、反射性のあるウェーハの表面に刻印された非常に小さな文字も確実に捉えます
- 内蔵点灯制御（明視野と暗視野）により、コントラストの低い、または劣化したマーキングでも最適なコントラストを実現します
- 非接触の操作により、繊細なウェーハ表面を損傷から保護
- 自動マーク適応機能により、マスキング、エッチング、フォトリソグラフィによって生じる変化に自動対応し、読み取り不可を削減、手動介入を最小化し、稼働率を最大化します
さらにコグネックスでは、ビジョンのエキスパートのグローバルネットワークや、オンサイト、オンライン、またはオンデマンドで利用できる柔軟なサポートオプションを提供しています。