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Orientamento della tacca del wafer nei semiconduttori

Un orientamento preciso dei wafer è fondamentale nella produzione di semiconduttori per evitare difetti costosi e mantenere alta la resa. Le caratteristiche complesse dei wafer, le marcature appena percettibili e i diversi profili dei bordi richiedono sistemi di visione avanzati per un rilevamento preciso e in tempo reale. L’AI di Cognex consente di automatizzare rotazione e carico dei wafer, garantendo processi front-end efficienti e costanti.

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L'allineamento preciso della tacca del wafer garantisce prestazioni affidabili

Nella produzione di semiconduttori, l’orientamento della tacca del wafer consiste nell’allineare ogni wafer di silicio utilizzando una piccola tacca o un bordo piatto che ne indica l’orientamento dei cristalli. Questa fase è fondamentale nelle lavorazioni front-end dei semiconduttori per assicurare che i circuiti integrati vengano tracciati con precisione sul wafer, tutelando l’integrità dei circuiti e la resa produttiva. Il processo deve essere veloce, accurato e ripetibile.  

Per soddisfare la domanda del settore, i produttori di semiconduttori si affidano a sistemi di automazione ad alta velocità che riducono al minimo l’intervento manuale, rilevando con precisione la posizione della tacca e ruotando i wafer nel corretto orientamento prima della lavorazione.

I sistemi di visione artificiale avanzati di Cognex consentono un allineamento del wafer preciso e in tempo reale, riducendo i tempi di fermo, riducendo al minimo le rilavorazioni e garantendo l'uniformità dei processi per le aziende manifatturiere. 

Individuare correttamente la tacca (notch) del wafer è fondamentale per garantire una produzione di semiconduttori affidabile

Con wafer per semiconduttori che possono costare da 5.000 fino a oltre 100.000 dollari, un orientamento accurato durante la fabbricazione è assolutamente fondamentale. Anche il più piccolo disallineamento può generare difetti irreparabili, costringendo i produttori a scartare wafer ad alto valore.

Il rilevamento tradizionale della tacca si basa su sensori laser a barriera ottica (through-beam), che richiedono ingombranti trasmettitori e ricevitori posizionati sopra e sotto il wafer. Queste configurazioni occupano spazio meccanico prezioso e rallentano i tempi di processo, perché fanno ruotare lentamente i wafer per individuare la tacca.

Il rilevamento diventa ancora più complesso in presenza di rivestimenti particolari, come il carburo di silicio (SiC) trasparente. Inoltre, man mano che i wafer diventano più sottili ed evoluti, fattori come tacche microscopiche, orientamenti visivamente simili e profili di bordo differenti complicano ulteriormente il rilevamento e ne mettono a rischio la precisione.

Anche i sistemi di allineamento con prestazioni scadenti richiedono frequenti interventi e manutenzioni manuali, rallentando il flusso di lavoro, riducendo la resa, il numero di stampi funzionali per wafer e aumentando i costi. 
I sistemi di visione artificiale Cognex offrono la precisione e la velocità di cui i costruttori di semiconduttori hanno bisogno per affrontare queste problematiche con sicurezza. 

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Efficienza nella produzione di semiconduttori grazie alla visione AI

I sistemi di visione In-Sight di Cognex utilizzano intelligenza artificiale integrata nelle smart camera per assicurare un allineamento dei wafer estremamente preciso. Un processore ad alte prestazioni e un’ampia suite di strumenti di visione avanzati fanno di questo sistema la soluzione ideale per le applicazioni di front-end nel settore dei semiconduttori, dove velocità, precisione e affidabilità sono fondamentali.

La tecnologia Cognex, basata su un software di intelligenza artificiale avanzato, riconosce anche le tacche più piccole, indipendentemente dall’orientamento o dal tipo di bordo, e fornisce dati di posizione precisi a robot o PLC per un allineamento immediato. Il sistema ultra-compatto trova posto anche negli spazi più ridotti ed elimina la necessità di sensori su entrambi i lati, semplificando l’integrazione nelle linee di produzione automatizzate. Ed è semplice da aggiornare quando arrivano nuovi wafer o nuovi design, senza dover ricorrere a programmazioni complesse.  

Inoltre, Cognex mette a disposizione molteplici modalità di supporto, dalle piattaforme di assistenza online a una rete globale di specialisti, per garantire continuità e affidabilità nei processi di produzione dei wafer per semiconduttori.