In-Sight 3900
In-Sight 3900 ist ein Hochgeschwindigkeits-KI-Vision-System mit hoher Rechenleistung und KI zur Verarbeitung von hochauflösenden Bildern und erweiterten Inspektionen auf Produktionslinien mit hohem Durchsatz.
Die präzise Orientierung der Wafer Notch sorgt für zuverlässige Leistung
Bei der Halbleiterfertigung beinhaltet die Wafer-Notch-Orientierung die Ausrichtung jedes Silizium-Wafers unter Verwendung einer kleinen Kerbe (Notch) oder einer flachen Kante, die seine Kristallorientierung anzeigt. Dieser Schritt ist bei der Frontend-Halbleiterverarbeitung unerlässlich, um sicherzustellen, dass integrierte Schaltkreise präzise auf dem Wafer angeordnet sind, damit die IC-Integrität und -Ausbeute gewährleistet ist. Der Prozess muss schnell, genau und wiederholbar sein.
Um die Anforderungen der Industrie zu erfüllen, verlassen sich Halbleiterhersteller auf Hochgeschwindigkeitsautomatisierungssysteme, die manuelle Eingriffe minimieren, indem sie vor der Fertigung Notch-Positionen präzise erkennen und Wafer in die richtige Orientierung drehen.
Fortschrittliche Cognex Bildverarbeitungssysteme ermöglichen eine präzise Ausrichtung von Wafern in Echtzeit, wodurch Ausfallzeiten reduziert, Nacharbeit minimiert und die Prozesskonstanz für Hersteller sichergestellt wird.
Richtige Erkennung der Wafer Notch für eine zuverlässige Halbleiterproduktion
Da Wafer zwischen 5.000 und über 100.000 US-Dollar kosten, ist eine genaue Orientierung während der Fertigung entscheidend. Selbst kleinste Fehlausrichtungen können zu irreparablen Defekten führen und Hersteller zwingen, hochwertige Wafer zu entsorgen.
Herkömmliche Notch-Erkennung beruht auf laseroptische Einweglichtschranken die sperrige Sender und Empfänger über und unter dem Wafer erfordern. Diese Setups verbrauchen wertvollen Platz und verzögern die Verarbeitungszeit, da der Wafer langsam gedreht wird, um die Notch zu finden.
Die Erkennung wird durch einzigartige Beschichtungen wie transparentes Siliziumkarbid (SiC) noch schwieriger. Und da Wafer immer dünner und komplizierter werden, beeinträchtigen Herausforderungen wie winzige Kerben, ähnlich aussehende Orientierungen und unterschiedliche Kantentypen die Genauigkeit.
Schlecht funktionierende Ausrichtungssysteme erfordern auch häufige manuelle Eingriffe und Wartungen – was den Workflow verlangsamt, die Ausbeute reduziert, indem die Anzahl der funktionalen Chips pro Wafer verringert und die Kosten erhöht werden.
Cognex Bildverarbeitungssysteme bieten die Genauigkeit und Geschwindigkeit, die Halbleiterhersteller benötigen, um diese Herausforderungen erfolgreich zu meistern.
Gesteigerte Effizienz in der Halbleiterfertigung durch KI-Bildverarbeitung
Die In-Sight Bildverarbeitungssysteme von Cognex verwenden KI, die in Smart-Kameras eingebettet ist, um eine äußerst Ausrichtung von Wafern zu ermöglichen. Ein leistungsstarker Prozessor und eine robuste Suite von Bildverarbeitungstools machen das System ideal für Front-End-Halbleiteranwendungen, die Geschwindigkeit, Präzision und Zuverlässigkeit erfordern.
Technologie von Cognex, die auf fortschrittlicher KI-Software basiert, identifiziert selbst kleinste Notches – unabhängig von Orientierung oder Kantentyp – und liefert präzise Positionsdaten für Roboter oder SPS zur sofortigen Ausrichtung. Das ultrakompakte System benötigt wenig Platz und macht doppelseitige Sensoren überflüssig, was die Integration in automatisierte Produktionslinien vereinfacht. Und wenn neue Wafer oder Designs auf den Markt kommen, können sie ganz einfach aktualisiert werden – ohne komplexe Programmierung.
Darüber hinaus bietet Cognex flexible Support-Optionen – von Online-Ressourcen bis hin zu einem globalen Expertennetzwerk – damit Sie eine konstante, zuverlässige Wafer-Produktion aufrechterhalten können.