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INSPECTEDGE

查找直线、圆形和不规则形状边线上的空隙和缺陷

InspectEdge 工具可以解决注重精确的边线检测的视觉应用问题,如查找瓶盖的缺口或太阳能晶圆上的边线破损。InspectEdge 可在直线、圆形和不规则边线查找空隙和缺陷,并可通过追踪多个边线对检测间隙和缺陷的功能特征宽度。此工具的图形用户界面可以方便设置边线检验,还可以灵活地定义缺陷标准(如尺寸、面积和距离)并为离群点指定非正常值以便消除噪点。

InspectEdge edge inspection tool finding round edge defect

借助 InspectEdge,您可以:

  • 跟踪最小和最大位置和宽度的边线轮廓
  • 检查边线和边线对是否存在缺陷、空隙和极端点
  • 获得到定位的边线点的线和圆心定位
  • 识别不规则的路径

InspectEdge 工具可以检测正常缺陷探测工具无法检测的元件边线缺陷。它先定义感兴趣的区域,在整个搜索区域中放置制动钳,然后根据对比度和边线宽度返回每个制动钳的边线候选值即可完成所有这些检测。它还能对正常的工艺差异和光线强度变化进行补偿。

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