晶圆可追溯性

一致地解码晶圆 ID 标记,以便在切割过程之前对晶圆进行可靠的跟踪

Vision system reading an OCR code on a semiconductor wafer

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In-Sight 1740晶圆读码器

内置了 12 种模式的软件控制明面和暗面照明,In-Sight 1740系列读码器可对几乎任何ID标记成像。

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晶圆上有激光标记的 ID 号码,被放置在硅盘的一小块区域。这些代码是字母数字字符或 DataMatrix 码,用于通过前端工艺跟踪晶圆,直到它们被切割。在各种掩蔽、蚀刻和光刻过程中,晶圆 ID 可能会退化,由于晶圆的反光背景而变得难以解码。

康耐视 In-Sight 1740 系列晶圆读卡器采用专为晶圆识别开发的先进算法,可在切割晶圆前提供光学字符识别 (OCR) 和二维码功能。这些晶圆读码器使用集成和可调照明与图像处理技术,为多种标记方法提供最佳成像系统,包括字母数字和 SEMI-T7 DataMatrix 码。In-Sight 1740 能够自动适应由各种工艺步骤引起的标记外观变化,从而减少不读取的情况,最大限度地减少机器辅助的需求并最大限度地延长机器正常运行时间。In-Sight 1740 可确保快速、准确地读取代码,实现准确的晶圆可追溯性。

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