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In-Sight® 1740 系列晶圆读码器可满足此要求,它通过其极高的可靠性自动识别晶圆,从而最大限度降低人工干预的需求并避免工具停机。无论是在新的设备上安装还是在已有工具上改装,In-Sight 1740 系列读码器都可实现 100% 的晶圆追踪。
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